Elektronenquelle:           Wolframkathode
Vakuummodi:                 High/Low Vacuum, ESEM
Detektoren:                     ETD, LFD, GSED, STEM
Auflösung (idealisiert):  2,8 nm
Analytik:                           EDAX Prime (Detektor Octane-Prime)

Ionenquelle:                   Wolframspitze mit Gallium gecovert
Vakuummodi:                High/Low Vacuum
Detektoren:                    ioneninduzierte Sekundär-Elektronen über ETD
Gasinjektoren:               SCM, Pt-Deposition
Auflösung (idealisiert): 8,9 nm
Mikromanipulator:       Omniprobe-Nadel 100.7
weitere Funktionen:     Auto Slice and View , Auto TEM, AMIRA-3D-Rekonstruktion

Spannungsoptik